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应用十五、氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏

德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司

一、 电磁阀阀芯检漏原因:
该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件镭射焊接（电磁阀阀芯）,一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件镭射焊接（电磁阀阀芯）产品如下图:

二、 电磁阀阀芯检漏方法
大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,镭射焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的资料为准.

客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且资料可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.

三、电磁阀阀芯检漏操作说明

由于半导体工业上用的气体如矽烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.
1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.
2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.
3),在镭射焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象品质不合格.如果漏率值能达到要求,该被检物件合格,检漏检测完成.

应用十六、氦质谱检漏仪用于直通阀检漏

一、阀门检漏需求

阀门的密封性能是考核阀门品质优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就
要提高其密封性能, 并且在出厂前道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内
许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔
比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s. 但随着客户对产品品质要求
的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引
进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被为可靠的方法之一.
而德国Pfeiffer 氦质谱检漏仪具有体积小、重量轻、内部模组化设计、检测维修方便、
使用简单、一键式操作等优点受到广大客户的青睐.

上海阀特流体主要生产销售各种自动控制阀门, 部门产品出口到国外. 如下图所示
为该司生产的直通阀, 用于有毒气体设备, 为了作业人员安全及避免环境污染, 客户
要求出厂前对阀门做气密性检测.

二、阀门检漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法. 阀门多
采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.

三、阀门检漏操作
1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560
氦质谱检漏仪.





2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值. 当旋片泵
抽真空到达一定真空度（背压为 25 mbar业界）时, 可以进行检漏操作.

3. 如下图工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的
漏率值有无变化.



4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能
达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.