台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII
产品简介
详细信息
TM4000 系列为 SEM 用户提供了一种解决方案，可以轻松获得高质量的数据并快速生成报告，从而实现*效的工作流程。环b、*效的真空系统可缩短泵送时间和高样品处理量。可容纳直径可达 80 mm、厚度可达 50 mm 的样品尺寸。
观察图像3分钟。可迅速获得所需数据，并制作报告。
观察与分析的灵活性
自动获取各类数据。快速切换！
可快速获得元素分布图*2
*1TM4000PlusⅡ的功能。*2选配
使用Camera Navi*的话，就是如此简单
Camera Navi图像让您轻松找到视野，分布图(MAP)功能全程支持您的观察
*选配：Camera Navi系统
操作简单且快捷
观察图像只需 3 分钟。
可快速观察图像，并导出测试报告。
Report Creator可让您轻松制作报告
只需选择图像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告
即便是jue缘物样品，也无需预处理，就可直接进行观察
“静电减轻模式”可抑制静电现象
对于容易产生静电的样品，可使用“静电减轻模式”，在抑制静电的状态下进行观察。
只需用鼠标在软件上点击即可切换到“静电减轻模式”。
可在低真空的条件下进行多种观察
对于容易产生静电的粉末或含水等样品，可结合其目的进行观察。
可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。
无需预处理，也可以观察jue缘物和含水、含油样品的表面
不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察jue缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。
高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。
此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD-CL：带有CL信息的图像）。
高感度低真空二次电子检测器的检测原理
可支持加速电压20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析（选配），可进行更高计数率解析。
通过加速电压20 kV，实现EDS元素分布图的高S/N化
Multi Zigzag（选配）
可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台，可实现低倍率，高精度，大范围的观察分析。
EM 样品台（选配）
可轻松观察 STEM 图像
与全*开发的 STEM 样品台和高灵敏度低真空二次电子检测器(UVD)配合使用，可轻松观察小倍率 STEM 图像。
可轻松观察薄膜样品和生物样品。
技术参数
| 项目 | TM4000PlusII | TM4000II |
|---|---|---|
| 倍率 | ×10～×100,000（照片倍率） ×25～×250,000（显示器倍率） | |
| 加速电压 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
| 图像信号 | 背散射电子 二次电子 复合图像（背散射电子+二次电子） | 背散射电子 |
| 真空模式 | 导电体（仅背散射电子） 标准 静电减轻 | 标准 静电减轻 |
| 样品可移动范围 | X：40 mm Y：35 mm | |
| *大样品尺寸： | 80 mm（直径） 50 mm（厚度） | |
| 电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Catridge Filament) | |
| 检测器 | 背散射电子：高感度4分割 背散电子检测器 二次电子：高感度低真空 二次电子检测器 | 背散射电子：高感度4分割 背散射电子检测器 |
| 排气系统 （真空泵） | 涡轮分子泵：67 L/s 1台 隔膜泵：20 L/min | |
| 尺寸与重量 | 主体：330（宽度）×614（进深）×547（高度） mm、54 kg（附带马达驱动的样品台） 主体：330（宽度）×617（进深）×547（高度） mm、54 kg（附带手动样品台） 隔膜泵：144（宽度）×270（进深）×216（高度） mm | |