超g分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000
产品简介
详细信息
1.采用*异的成像技术
SU7000可以迅速获取从大视野quan貌图到表面微细结构等多种检测信号。新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更*面的样品信息。
2.采用多通道成像技术
随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000*多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的*大化。
3.支持不同形状样品、多种观察方法
1.大型样品观察；2.低真空观察；3.超低温观察；4.实时观察
等所需的样品仓和真空系统都shi分完备，观察方法也是yi应俱quam。
4.支持微纳解析
采用肖特基发射电子枪，*大束流可达到200 nA，适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等，接口设备可通过选配附件满足各种特s需求。
成像能力
追求信息*大化的检测系统
随着用户对样品数据的需求更加多元化，对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下，更*效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更*面的信息收集。
同一条件观察
样品：包裹有机物的金属棒
通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 （加速电压：1 kV）
通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号，UD可获取表面微细形状信息，MD可获取表面有机物包覆状态信息，LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下，实现了获取信息的*大化。
采用可多通道显示的GUI设计
优化信号显示功能
成像单元在信号显示上也作了*新升级。用户可根据观察需求，选择不同的视场角和通道数。
单屏*多可同时显示4通道信号。
导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像，快速显示目标图像。
使用双屏显示时，可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像，另一个显示屏专门用来显示信号，*多可同时显示6通道信号。
高自由度的界面布局
使用单屏时，可以单通道、双通道、四通道显示样品信息，也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。
支持双屏显示
1st显示屏专门用来显示图像，2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图（1st显示屏）是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出
UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图（2nd显示屏）将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示，界面
布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时，操作性能也得到了进一步提升。
可扩展观察和分析方法
样品仓和马达台
样品仓外观标配18个附件接口 马达台外观XY轴可移动距离为135×100 mm
样品仓可搭载*大直径为φ 200 mm；*高80 mm的样品。大开仓设计，标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴*大移动距离为135×100 mm，*重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台*全不成问题。
支持动态观察的检测系统
SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时，可以选用PD-BSED（背散射电子探测器）、UVD、MD等各种探测器(**)。
低真空环境的探测器选择
左图为通过MD（背散射电子），右图为通过UVD（二次电子）探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。
PD-BSED：响应速度提高
左图是以一般的响应速度，约每两秒扫描一次得到的图像；右图抑制了图像的漂移，使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高，更适用于In-Situ观察。
技术参数
| 项目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| 图像分辨率 | 二次电子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 电子枪 | 发射体 | ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） | |
| 加速电压 | 0.1～30 kV （步进：0.01 kV） | ||
| 束流 | *大200 nA | ||
| 探测器 | 标准探测器 | UD （上探测器) | |
| MD （中探测器） | |||
| LD （下探测器) | |||
| 选配探测器*1 | PD-BSED (半导体式背散射电子探测器） | ||
| UVD（高灵敏度低真空探测器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 样品仓压力范围 | 5～300 Pa | |
| 可使用探测器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 马达台 | 马达台控制 | 5轴马达驱动 | |
| 移动范围 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（倾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋转角） | 360° | ||
| 样品尺寸 | *大直径：φ200 mm, *大高度：80 mm | ||
| 显示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持双屏 | ||
| 图像显示模式 | 全屏显示模式 | 1,280×960像素显示 | |
| 单屏显示模式 | 800×600像素显示 | ||
| 双屏显示模式 | 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 | ||
| 四屏显示模式 | 640×480像素显示 | ||
| 六屏显示模式*2 | 640×480像素显示 *2 | ||
| 图像数据保存 | 保存图像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 选配附件 | 能谱仪（EDX） | ||
| X射线波谱仪（WDX） | |||
| 电子背散射衍射（EBSD） | |||
| 阴极荧光探测器（CL) | |||
| 冷冻传输系统 | |||
| 各种功能样品台 | |||
*2支持双屏显示。