JKNL-B220滑轨式真空管式炉
产品简介
详细信息
JKNL-B220滑轨式真空管式炉
设备介绍:
JKNL-B220滑轨式真空管式炉是专为化学气相沉积法制备石墨烯片而设计的,该炉搭配质量混气系统、高(低)真空系统组成CVD系统,可以通过滑动炉体来实现快速升降温,配置不同的真空系统来达到所需的真空度,同时通过四路高精度质量混气系统控制不同气体。
炉体采用双层壳体结构,壳体间配有风冷系统,能有效的降低炉壳表面温度。炉底以直线轨道为平台,通过轨道实现炉体自由滑动;反应区采用石英管结构,石英管直径60mm,石英管通过CVD专用法兰密封,内置基片做为基底,前驱反应气体通过石英管内发生CVD反应,生成石墨烯。
设备用途:
JKNL-B220滑轨式真空管式炉是生长石墨烯研制的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
JKNL-B220滑轨式真空管式炉
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基本参数 | 产品型号 | JKNL-B220 | 加热区尺寸 | 400mm | |||||
极限温度 | 1200℃ | 工作温度 | ≤1100℃ | ||||||
表面温度 | <>60℃ | 控温精度 | ±1℃ | ||||||
功率 | 3KW | 工作电压 | 单相220V | ||||||
开门方式 | 上开式 | ||||||||
外形尺寸 | 深 * 宽 * 高 (mm) 600 * 1300 * 1300 | ||||||||
设备重量 | 150Kg | ||||||||
壳体结构 | 双层,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。 | ||||||||
节能效果 | ★ 保温时仅需40%功率 | ||||||||
数据显示模式 | LED数显仪表 | ★ 可选配豪华型智能触摸屏仪表,实时曲线显示,也可用U盘导出数据,在电脑上安装查看软件 |
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控制模式 | 智能PID调节、模糊控制、自整定功能 | ||||||||
温度曲线 | 30段可编程控制,可设置30段升降温程序 | ||||||||
测温元件 | K型热电偶 | ||||||||
加热元件 | 优质掺钼铁铬铝合金加热丝 环形加热,温场均匀,能耗低 升温速率建议:10℃/Min Max:20℃/Min | | |||||||
炉膛保温材料 | 1500型高纯氧化铝微晶体纤维,保温性能好 | ||||||||
售后服务 | 12个月质保(相关易耗件除外),终身保修 | ||||||||
包装方式 | 三合板木质包装箱 | ||||||||
电 源 线 | 标配2米 若需更长,请购买设备时提前说明,需另购 | | |||||||
坩 埚 | 我司有各种规格的坩埚,需要可咨询业务人员 | ||||||||
炉体尺寸 | 620mm(长)*420mm(宽)*520mm(高) | ||||||||
设备重量 | 180Kg | ||||||||
控制方式扩展 | ★ 可选配485转换接口,实现与计算机相互连接。选配专用的电脑控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。为客户提供方便,本公司也可以代购电脑。 | | |||||||
真空度 | A.若使用VP系列单级旋片机械泵+CF法兰+针型阀,则真空度可达100Pa B.若使用2XZ系列双级旋转机械泵+KF法兰+真空球阀,则真空度可达10Pa | ||||||||
随机配件 | 防护手套1双;坩埚钳1把;刚玉舟1只;石英管;炉塞;炉勾;6号内六角(法兰专用);法兰一套;配套气管;高温密封圈8个;产品说明书1份;仪表说明书1份;保修证书1份。 |
质量流量控制器
工作电压:220V
输出功率:18W
质量流量计量程:
控制器1:0-100 SCCM
控制器2:1-199 SCCM
控制器3:1-199 SCCM
控制器4:1-499 SCCM
可任意选择量程(5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM)
工作温度:5-45 ºC
压力:3* 10^6 Pa
准确度:±1%FS
机械压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀:304不锈钢
混气罐:Φ80*120MM
截止阀:Φ1/4 304不锈钢