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5850EM / 5851EM系列金属密封热质量流量控制器

经验证长期稳定，超纯洁净体系，适用于高压应用

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
• 流量范围宽 – 3 sccm 至高达 30,000 slpm
• 高压额定值 – 高达 1,500 psi
• 可选增强型内部后处理工艺 – 5µ 英寸 Ra（平均值）
• 可拆卸式流量传感器
• 不受安装角度影响
• 其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
• TTL 兼容型”阀关闭”和吹扫功能

优势

• 全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
• 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性
• 由于性能可靠，因此投资回报率出众
• 采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
• 由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养

应用

• 光端机
• LED/MOCVD
• 半导体
• 太阳能