SP-85KTC是一款较大型高温感应加热/熔炼炉系统,配用30KW感应加热器,8.5英寸(216mm)石英管,铰链式法兰及阀门,石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯,16L/min循环冷水机,真空泵和移动炉架。针对于生长晶体,金属熔炼和各种材料的热处理的实验帮手。仪器高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体)。
警告:
使用此仪器时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/m,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa,操作仪器前,必须仔细阅读说明书,而且操作人员需带防护面罩。实验升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂,法兰蹦出甚至造成人身伤害。
技术参数
感应加热器
| - 工作电压: 三相380VAC ,50Hz (需60A空气开关)
- 工作电流: 7~70 Amps (需100A空气开关)
- 大震荡功率: 30KW
- 大输入功率: 15KW
- 输出频率: 30 - 100kHz
- 占空比: 80%
- 感应线圈: 220mm(ID) x 65mm(H)
- 空气冷却: 后风扇
- 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护
- 耐火材料:配有多块采用氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,和防止热量辐射
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温度控制器 & 热电偶
| - 工作电压: 208~240V AC, 单相
- 采用PID方式控温 ,可设置30段升降温程序,控制升温和降温
- 设备带有过热和断偶保护功能
- 控温精度+/- 3 ?C
- 热电偶: C type, 1/4'' O.D x 10'' Long
- 连续工作温度范围: 1000?C~2000?C
- 大升温速率:
4?C/second(1000?C-1200?C) 3?C/second(1200?C~1500?C) 1?C~2?C/second (1500?C~2000?C)
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石墨坩埚和耐火砖 | - 高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height,
- 大容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
- 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃)
- 注意: 石墨坩埚是易耗件
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密封法兰 & 石英管 | - 两端开口的石英管尺寸:?216?mm(OD) x 208 mm(ID) x 500mm(L)
- 顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4"的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀
- 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
- 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管,以便与真空泵相连接
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防腐型真空计(可选)
| 当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,量程可到3.8x10E-5 torr |
流量计
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水冷机
| - 温度范围 5 - 30°C
- 水流速: > 16 L/m
- 水箱容积: 12Liters 采用不锈钢制作
- 水压≥0.1MPa,流量≥5L/Min
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真空泵
| - 仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵,使管内的真空度达到10e-2 torr
- 工作电压AC 208 -240V, 单相
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移动炉架 | - 结构: 钢框架结构
- 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管
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注意 | 此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可
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外形尺寸 | 点击图片查看
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质保期 | 一年质保期,终身维护相关耗材除外,如炉管密封圈等易耗件 |