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蓝鲸晶圆用机械臂式全自动超声波清洗机，主要由：机械传动系统、超声波系统、加热系统、烘干系统、给排水系统和电气控制系统等6部分组成，一般采用PLC进行控制，操作简便，可通过修改程序方便地调整设置参数及工艺流程在线监视系统的工作状态，可自动完成工件的粗洗、喷淋、喷流、热浸、漂洗、鼓泡、烘干等工艺，大大节约人力，提高效率。

本设备为水剂清洗机，采用悬挂输送，由多位功能槽组成一条连续清洗生产线，去除工件上的油污、灰尘、废屑等附着物，得到洁净工件，使工件达到所规定的工艺要求。本设备是一台精密清洗设备，它是使用水基清洗剂对需要清洗的工件进行的精密清洗。据清洗工艺要求，可用清水配制低碱性清洗液。使水活化（皂化），减小水的表面涨力和提高其活化能力，从而对附在工件表面的油污、灰尘、废屑等进行湿润，渗透到工件表面而被清洗掉，得到满意的洗净度。