激光干涉仪
产品简介
详细信息
| ZD-D1500是国内C9大学、北京合创智达光电科技有限公司联合研发的新一代快速超精密激光干涉仪。
l 在中国计量科学研究院、中国国家等单位应用 |
ZD-D1500核心技术指标均通过中国计量科学研究院等法定计量机构的检定校准。
l 激光真空波长准确度 1.2×10-8（k=3） l 动态测量分辨力 0.3 nm l 速度 1500 mm/s l 数据更新率 10MHz |
|
ZD D1500特征与优势
n 高测速与高精度的统一！突破了高速激光干涉仪的动态信号处理技术，无论是动态测量还是静态监测，均可实时提供超精密测量结果！ n 非接触多维振动测量！采用自定义的VME硬件接口模式，更新速度10MHz，可实现即测即知，测量动作延迟漂移小于0.3ns,引入动态测量误差小于0.5ns！ | n 本土化产品的快速供应！国外激光测振仪出口受到严格管控，而本产品核心部件均来自国内，30 - 50个工作日即可供货，无需历经严苛的审批过程！ n 专家级成套解决方案！超精密级测量仪器的测量精度常被工作环境、对象等吞没。依托本公司超精密测量专家团队，可提供非接触性激光测量解决方案！ |
应用领域
n 机械模态分析 n 振动传感器校准 n 微电子光刻机 n 超精密数控机床 | n 高频声表面波测试 n 瞬态微观位移捕获 n 高速三坐标测量机 n 高速机光测长机 |
ZD D1500技术规格
仪器整体规格 | |||
测量速度 | 1500 mm/s(可选2000 mm/s) | ||
测量分辨力 | 0.3 nm | ||
线性精度 | 0.1/0.012ppm(空气/真空) | ||
数据采样率 | 10 MHz | ||
稳频激光器 | |||
真空激光波长准确度 | 1.2×10-8 (可选1.0×10-9) | ||
短期频率稳定度 | 2×10-9/3小时 | ||
长期频率稳定度 | 1.2×10-8/工作周期 | ||
激光输出功率 | 0.2 - 0.5 mW | ||
干涉镜组 | |||
单轴干涉镜组 | 光学4细分 | ||
多轴干涉镜组 | 光学4细分 | ||
光电接收器 | |||
探测头散热 | 0 mW | ||
可探测功率 | 0.5 - 50 μW | ||
电子细分卡 | |||
测量分辨力 | 0.3 nm@光学4细分 | ||
接口形式 | VME/USB | ||
数据更新率 | 10 MHz | ||
空气折射率补偿 | |||
气压测量精度 | 10 Pa | ||
湿度测量精度 | 0.8% RH | ||
温度测量精度 | 0.02 oC | ||
材料温度补偿 | |||
温度测量精度 | 0.02 oC | ||
测量通道数 | 3通道 (可选15通道) | ||
使用要求 | |||
使用温度 | 15 - 25 oC | ||
使用湿度 | 20 - 70 % RH | ||
工作时间 | 20 000 小时 | ||