质量流量计控制器
质量流量计控制器采用320*240彩色触摸屏。全中/英文界面，清洗，关闭，控制，规格量程，气体种类，一键式操作。显示界面直观，操作简便
应用场合
管道的气体--沼气，煤气，天然气，液化气，锅炉预热空气。
石油与天然气工业--燃气计量，气体质量分析，泄漏气测试，天然气测量。
电力行业--燃料系统中气体分配过程中的气体测量，锅炉乃辅助系统中各种气体的测量，燃气炉中气体测量，氢气测量控制，电厂高炉的一次风，二次风的测量。
化学工业--烟气循环测量，采样系统中气体流量计量控制。引风机的气体流量计量控制，化肥厂氨气测量控制，电池工厂各种气体流量测量控制。
冷扎行业--钢铁厂加气测量，炼钢厂，高炉煤气测量，焦化厂焦炉煤气的测量控制，轧钢厂加热炉燃气的测量控制，热处理炉的氢，氧，氮等气体的控制。
食品及医疗行业--热氧化过程中气体流量测量控制，通风系统锅炉进气，废弃，二氧化碳的处理等。
系统集成商 特殊气体厂商，真空元件供应商，真空系统集成商，电池系统集成商，生化系统集成商，气体装配流水线集成商，大学实验室，科研机构实验室，气体公司，研发机构。
典型应用--电子工业设备，如氧化，CVD,扩散，外延，等离子蚀刻，离子注入和溅射，以及微反应装置，配气和混气系统，镀膜设备，光钎熔炼，气相色谱以及其他分析仪器。
注意事项
对于反应系统，建议在气体质量流量计控制器的出流端加装单向阀，以防止异常情况下 反应物倒流损坏质量流量计控制器。
对于高压系统，应在气体质量流量计控制器的下游加装背压阀，保证气体质量流量计的工作压力。注意加装过滤器以净化气源，延长质量流量计控制器的使用寿命。
对于硅烷这样的遇气体易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性，必要时设计清洗旁路，随时进行氮气吹洗或过压保持。
有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题。
对于高真空系统注意各路接头尽量减少，并采用VCR等接头
质量流量计控制器的安装位置应易于装卸，检测，调零并安全可靠。
对精度特殊要求的系统应注意冗余设计
注意正确使用操作.对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统，应当建立自己的操作规程。
注意轻拿轻放妥善保管，质量流量控制器非常精密，应避免受到撞击和震动，产品不用时注意放在较好环境中妥善保管。
注意定期标定，如果自带标定装置可以省去。
注意使用气体与流量计的密封材料相适应。
质量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡胶，能适应大多数气体的使用，包括HCL这样的强腐蚀气体，但对于氨气必须使用耐氨橡胶，对于有机溶剂类气体，如丙酮，甲苯等必须使用硅橡胶，对于使用三氯化硼，三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封,流量计用户在订货时必须注意
产品特点 & 技术指标
产品创新点
进口传感器芯片技术
ZF—MFC-质量流量计控制器采用了进口传感器.使精度，温漂，环境的剧烈变化影响得到极大的提高
无毛细管技术
通气口径达到6mm,对粘度较大，含杂质气体能保证精度。如硫化氢气体等。
超微流量控制
最小流量分辨率0.01ml/min 并能精确控制
触摸屏功能
ZF—MFC-2产品采用，所有量程，气体切换一键搞定，操作方法一目了然，并有中英文可随意选择，强大的操作功能,可以*兼容所有厂家的客户端接口
高精度 快响应
ZF—MFC-3质量流量计控制器,产品准确度采用设定点精度，显示精度，标定精度三点精度可达0.5%FS，响应时间≤200ms
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