热障层制备/红外波导 专用电子束蒸镀仪
产品简介
详细信息
关键词：热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、
欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路
型号： MEB550S， 产地：欧洲 应用：Thermal barriers/红外波导
8个坩埚：Au, Pd, Al, Mo, Ni, NiCr, Ti, Ge
样品台可旋转、可倾斜，可加载6英寸衬底
配备Load Lock和主腔体
真空系统：采用低温泵和干泵
10kW电子束源
离子枪对衬底进行清洗和刻蚀
全自动控制，半自动和手动可选，支持远程维护
典型用户：格拉斯哥大学