移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392
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移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可*旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, *符合 Semi S2 标准
上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:
型号 | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 已停产 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 | ||
小检测漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
对氦气的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 内置2台分子泵 | 7 l/s |
前级泵抽速 | 35 m3/h | ||
进气口-大压力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
无校准的启动时间(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
进气口 | DN 40 ISO-KF | ||
响应时间 | < 1 s | ||
Interface, 选配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求*的应用
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机，Europlasma等离子纳米涂层设备等。
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 马女士