HiPace 300 M Pfeiffer普发磁悬浮抽真空涡轮分子泵
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Pfeiffer普发磁悬浮抽真空涡轮分子泵 HiPace 300 M 技术参数
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型号
接口 DN
抽速 l/s
压缩比
-高启动压强 hPa
极限压力
(理论值)
全转速气体流量 hPa l/s
启动时间
重量
进气口
排气口
氮气
N2
氦气He
氢气 H2
氮气
N2
氮气N2
hPa
氮气N2
min
kg
HiPace 300 M
100
16
255
215
170
> 1X1011
20
< 5X10–10
28
2
17.2
Pfeiffer普发磁悬浮抽真空涡轮分子泵 HiPace 300 M 抽速对比图:
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