VCVD-0305-SIC 立式化学气相沉积炉（SiC、BN）
产品简介
详细信息
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）产品规格
| 参数\\型号 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作区尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| gao温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择
结构形式：卧式-单开门/shuang开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组