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真空抽滤系统

东莞市普诺克真空科技有限公司为客户提供定制化的真空系统与真空解决方

真空系统存在的泵的名词解释：

主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度 来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择

真空抽滤系统

粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

真空系统的组成：

1．抽气设备：例如各种真空泵；

2．真空阀门；

3．连接管道；

4．真空测量装置：例如http://www.pronotek。。ｃｏｍ真空压力表、各种规管；

5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。

普诺克真空系统产品图