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 螺杆式真空泵与螺杆式压缩机的工作原理相同。国内外均有市销产品，特别适用于化工、制药、航天航空等需要清洁抽气的环境。其基本结构有两种：

（1） 螺杆式真空泵在螺杆式压缩机中，螺旋转子的螺旋圈数在1圈以上，而螺杆真空泵的螺旋转子的螺旋圈数在2圈以上。这样可以减少返流量，提高压缩比。单级泵可从泵105Pa的极限压力，通常抽数为60-120m3/h.螺杆式真空泵的工作原理如图2-87所示。
（2） 矩形螺旋式真空泵，它由矩形段面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合，由同步齿轮带动实现非接触式的高速运转，气体有上侧进入，在泵腔内压缩，由转子下端排除，转子旋转一周排气一次。由于转子和泵体内形成一种螺旋密封结构，矩形断面间隙泄露较少，加上它的螺旋圈数多，故可以得到比螺杆式泵较高的压缩比。这种泵可以从105Pa 抽到极限压力10-1Pa,通常抽速为40-80m3/h.。矩形螺旋真空泵原理示意图如图2-88所示。

（3） 目前国外出现了变螺距的设计，提高了效率、降低了排出气体的温度。此类型的泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为130Pa,而其极限真空可达1.3Pa，抽数从120-2700m3/h。