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JS2000B 供应全自动台阶仪哪家好

供应商:
安徽泽攸科技有限公司
联系人:
韩健查看联系方式
地址
安徽/铜陵市

产品简介

泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表,凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能,在半导体制造、材料科学、微纳技术等领域展现了显著优势。JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描,将微观轮廓的垂直位移转化为电信号,结合高灵敏度传感器与信号处理算法,实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统,通过精密调节探针与样品间的接触压力,既避免了对软

详细信息

泽攸科技台阶仪JS2000B

产品介绍


全自动台阶仪

泽攸科技全自动台阶仪JS2000B是一款高精度、高分辨率的测量设备,采用一体花岗岩结构,确保测量的稳定性与可靠性。配备双彩色摄像头,可清晰无畸变地观察样品和针尖,实现精准定位与实时监控。适用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翘曲度、应力及3D扫描成像等测量任务,并支持计划任务和多点扫描批量测试,广泛应用于半导体、材料科学等领域。其核心技术包括精密成像、自动控制和数据分析处理。





应用领域

全自动台阶仪

产品组成

全自动台阶仪


突破三大核心技术

全自动台阶仪


产品特色

全自动台阶仪


技术指标

台阶高度最大范围:≤80um

台阶高度重复性:≤0.5nm

垂直分辨率:0.05nm

探针加力范围:0.5mg~50mg

单次扫描长度:≤55mm

晶圆尺寸:可兼容6寸、8寸Wafer

晶圆厚度:≤10mm

图像识别系统精度:定位精度优于±10um

机械动作稳定性:马拉松传送测试>500片

生产效率:WPH≥10片(单面量测≥5个位置)



案例应用

18nm样品

68um样品